De term MEMS, voor Micro Electro Mechanical Systems, werd in de jaren tachtig bedacht om nieuwe, geavanceerde mechanische systemen op een chip aan te duiden, zoals micro-elektromotoren, resonatoren, tandwielen, enzovoorts. Tegenwoordig wordt de term MEMS in de praktijk gebruikt voor elk microscopisch apparaat met een mechanische functie dat in een batchprocédé kan worden vervaardigd (een reeks microscopische tandwielen op een microchip zou bijvoorbeeld als een MEMS-apparaat worden beschouwd, maar een piepkleine met laser bewerkte stent of horloge-onderdeel niet). In Europa wordt de voorkeur gegeven aan de term MST voor Microsysteemtechnologie, en in Japan wordt MEMS eenvoudigweg “micromachines” genoemd. Het onderscheid tussen deze termen is betrekkelijk klein en ze worden vaak door elkaar gebruikt.
Hoewel MEMS-processen in het algemeen worden ingedeeld in een aantal categorieën – zoals oppervlaktebewerking, bulkbewerking, LIGA, en EFAB – zijn er inderdaad duizenden verschillende MEMS-processen. Sommige produceren vrij eenvoudige geometrieën, terwijl andere complexere 3D-geometrieën en meer veelzijdigheid bieden. Een bedrijf dat versnellingsmeters voor airbags maakt, zou een heel ander ontwerp en proces nodig hebben om een versnellingsmeter voor inertiële navigatie te produceren. Een verandering van een versnellingsmeter naar een ander traagheidsapparaat zoals een gyroscoop vereist een nog grotere verandering in ontwerp en proces, en hoogstwaarschijnlijk een volledig andere fabricagefaciliteit en engineeringteam.
MEMS-technologie heeft een enorme hoeveelheid opwinding teweeggebracht, vanwege de enorme verscheidenheid aan belangrijke toepassingen waarbij MEMS voorheen onbereikbare prestatie- en betrouwbaarheidsnormen kan bieden. In een tijdperk waarin alles kleiner, sneller en goedkoper moet zijn, biedt MEMS een overtuigende oplossing. MEMS hebben reeds een diepgaande invloed gehad op bepaalde toepassingen zoals sensoren voor auto’s en inkjetprinters. De opkomende MEMS-industrie is nu al een miljardenmarkt. Verwacht wordt dat zij snel zal groeien en een van de belangrijkste industrieën van de 21e eeuw zal worden. Cahners In-Stat Group heeft voorspeld dat de verkoop van MEMS tegen 2005 12 miljard dollar zal bedragen. De Europese NEXUS-groep verwacht zelfs nog grotere inkomsten, waarbij een meer omvattende definitie van MEMS wordt gehanteerd.
Microtechnologie wordt vaak geconstrueerd met behulp van fotolithografie. Lichtgolven worden door een masker op een oppervlak gericht. Zij stollen een chemische film. De zachte, onbelichte delen van de film worden weggespoeld. Vervolgens etst zuur het materiaal weg dat niet beschermd is.
Het bekendste succes van de microtechnologie is de geïntegreerde schakeling. Het is ook gebruikt om micromachines te bouwen. Als uitloper van onderzoekers die probeerden de microtechnologie verder te miniaturiseren, kwam in de jaren tachtig de nanotechnologie op, met name na de uitvinding van nieuwe microscopietechnieken. Deze leverden materialen en structuren op met afmetingen van 1-100 nm.