O termo MEMS, para Sistemas Micro-Electromecânicos, foi cunhado nos anos 80 para descrever novos e sofisticados sistemas mecânicos em um chip, tais como motores microelétricos, ressonadores, engrenagens, e assim por diante. Hoje, o termo MEMS na prática é usado para se referir a qualquer dispositivo microscópico com uma função mecânica, que pode ser fabricado em um processo batch (por exemplo, uma série de engrenagens microscópicas fabricadas em um microchip seria considerado um dispositivo MEMS, mas um pequeno stent ou componente de relógio fabricado a laser não seria considerado). Na Europa, o termo MST para Tecnologia de Micro Sistemas é preferido, e no Japão os MEMS são simplesmente referidos como “micromáquinas”. As distinções nestes termos são relativamente menores e são frequentemente usadas de forma intercambiável.
Os processos MEMS em geral são classificados em várias categorias – tais como usinagem de superfície, usinagem a granel, LIGA, e EFAB – existem de fato milhares de processos MEMS diferentes. Alguns produzem geometrias bastante simples, enquanto outros oferecem geometrias 3-D mais complexas e mais versáteis. Uma empresa fabricante de acelerômetros para airbags precisaria de um projeto e processo completamente diferentes para produzir um acelerômetro para navegação inercial. A mudança de um acelerômetro para outro dispositivo inercial como um giroscópio requer uma mudança ainda maior no projeto e processo, e muito provavelmente uma instalação de fabricação e equipe de engenharia completamente diferente.
MEMS tecnologia tem gerado uma enorme quantidade de excitação, devido à vasta gama de importantes aplicações onde MEMS pode oferecer desempenho e padrões de confiabilidade anteriormente inatingíveis. Em uma era onde tudo deve ser menor, mais rápido e mais barato, a MEMS oferece uma solução convincente. A MEMS já teve um impacto profundo em certas aplicações, como sensores automotivos e impressoras a jato de tinta. A indústria emergente MEMS já é um mercado multibilionário. Espera-se que ela cresça rapidamente e se torne uma das principais indústrias do século 21. O Cahners In-Stat Group projetou que as vendas de MEMS atinjam $12B até 2005. O grupo europeu NEXUS projeta receitas ainda maiores, usando uma definição mais inclusiva de MEMS.
Microtecnologia é frequentemente construída usando a fotolitografia. As ondas de luz são focalizadas através de uma máscara sobre uma superfície. Elas solidificam um filme químico. As partes macias e não expostas do filme são lavadas. Em seguida, o ácido grava o material não protegido.
O sucesso mais famoso da Microtecnologia é o circuito integrado. Ele também tem sido usado para construir micromáquinas. Como resultado da tentativa dos pesquisadores de miniaturizar ainda mais a microtecnologia, a nanotecnologia surgiu nos anos 80, particularmente após a invenção de novas técnicas de microscopia. Estas produziram materiais e estruturas com dimensões de 1-100 nm.