El término MEMS, por sus siglas en inglés Micro Electro Mechanical Systems (sistemas microelectromecánicos), se acuñó en la década de 1980 para describir nuevos y sofisticados sistemas mecánicos en un chip, como micromotores eléctricos, resonadores, engranajes, etc. En la actualidad, el término MEMS se utiliza en la práctica para referirse a cualquier dispositivo microscópico con una función mecánica que pueda fabricarse en un proceso por lotes (por ejemplo, un conjunto de engranajes microscópicos fabricados en un microchip se consideraría un dispositivo MEMS, pero no un diminuto stent o componente de reloj mecanizado por láser). En Europa se prefiere el término MST para referirse a la tecnología de microsistemas, y en Japón los MEMS se denominan simplemente «micromáquinas». Las distinciones de estos términos son relativamente menores y a menudo se utilizan indistintamente.
Aunque los procesos de los MEMS se clasifican generalmente en una serie de categorías -como el mecanizado de superficies, el mecanizado a granel, el LIGA y el EFAB-, lo cierto es que existen miles de procesos MEMS diferentes. Algunos producen geometrías bastante sencillas, mientras que otros ofrecen geometrías tridimensionales más complejas y una mayor versatilidad. Una empresa que fabrica acelerómetros para airbags necesitaría un diseño y un proceso completamente diferentes para producir un acelerómetro para la navegación inercial. El cambio de un acelerómetro a otro dispositivo inercial, como un giroscopio, requiere un cambio aún mayor en el diseño y el proceso, y muy probablemente una instalación de fabricación y un equipo de ingeniería completamente diferentes.
La tecnología MEMS ha generado un enorme entusiasmo, debido a la amplia gama de aplicaciones importantes en las que los MEMS pueden ofrecer estándares de rendimiento y fiabilidad antes inalcanzables. En una época en la que todo debe ser más pequeño, más rápido y más barato, los MEMS ofrecen una solución convincente. Los MEMS ya han tenido un profundo impacto en determinadas aplicaciones, como los sensores de automoción y las impresoras de chorro de tinta. La emergente industria de los MEMS es ya un mercado multimillonario. Se espera que crezca rápidamente y se convierta en una de las principales industrias del siglo XXI. Cahners In-Stat Group ha previsto que las ventas de MEMS alcancen los 12.000 millones de dólares en 2005. El grupo europeo NEXUS proyecta unos ingresos aún mayores, utilizando una definición más inclusiva de MEMS.
La microtecnología suele construirse mediante fotolitografía. Las ondas de luz se enfocan a través de una máscara sobre una superficie. Estas solidifican una película química. Las partes blandas y no expuestas de la película se lavan. A continuación, el ácido graba el material no protegido.
El éxito más famoso de la microtecnología es el circuito integrado. También se ha utilizado para construir micromáquinas. Como consecuencia de los intentos de los investigadores por miniaturizar aún más la microtecnología, la nanotecnología surgió en la década de 1980, especialmente tras la invención de nuevas técnicas de microscopía. Con ellas se obtuvieron materiales y estructuras con dimensiones de 1 a 100 nm.