Der Begriff MEMS, für Micro Electro Mechanical Systems, wurde in den 1980er Jahren geprägt, um neue, hochentwickelte mechanische Systeme auf einem Chip zu beschreiben, wie z.B. Mikro-Elektromotoren, Resonatoren, Zahnräder usw. Heute wird der Begriff MEMS in der Praxis für jedes mikroskopisch kleine Gerät mit mechanischer Funktion verwendet, das in einem Batch-Verfahren hergestellt werden kann (z. B. würde eine Reihe von mikroskopisch kleinen Zahnrädern, die auf einem Mikrochip hergestellt werden, als MEMS-Gerät gelten, ein winziger, mit einem Laser bearbeiteter Stent oder eine Uhrenkomponente jedoch nicht). In Europa wird der Begriff MST für Mikrosystemtechnik bevorzugt, und in Japan werden MEMS einfach als „Mikromaschinen“ bezeichnet. Die Unterschiede zwischen diesen Begriffen sind relativ gering und werden oft austauschbar verwendet.
Obwohl MEMS-Prozesse im Allgemeinen in eine Reihe von Kategorien eingeteilt werden – wie Oberflächenbearbeitung, Bulk-Bearbeitung, LIGA und EFAB – gibt es tatsächlich Tausende von verschiedenen MEMS-Prozessen. Einige stellen recht einfache Geometrien her, während andere komplexere 3-D-Geometrien und mehr Vielseitigkeit bieten. Ein Unternehmen, das Beschleunigungsmesser für Airbags herstellt, bräuchte ein völlig anderes Design und Verfahren, um einen Beschleunigungsmesser für die Trägheitsnavigation herzustellen. Der Wechsel von einem Beschleunigungsmesser zu einem anderen Trägheitsgerät wie einem Gyroskop erfordert einen noch größeren Wechsel in der Konstruktion und im Prozess und höchstwahrscheinlich eine völlig andere Fertigungsanlage und ein anderes Ingenieurteam.
Die MEMS-Technologie hat aufgrund des breiten Spektrums wichtiger Anwendungen, bei denen MEMS bisher unerreichte Leistungs- und Zuverlässigkeitsstandards bieten können, für enorme Begeisterung gesorgt. In einer Zeit, in der alles kleiner, schneller und billiger werden muss, bieten MEMS eine überzeugende Lösung. MEMS haben bereits einen tiefgreifenden Einfluss auf bestimmte Anwendungen, wie z. B. Sensoren in der Automobilindustrie und Tintenstrahldrucker. Die aufstrebende MEMS-Industrie ist bereits ein Multimilliarden-Dollar-Markt. Es wird erwartet, dass sie schnell wächst und zu einer der wichtigsten Industrien des 21. Jahrhunderts wird. Cahners In-Stat Group hat prognostiziert, dass der Umsatz mit MEMS bis 2005 12 Milliarden Dollar erreichen wird. Die europäische NEXUS-Gruppe rechnet sogar mit noch höheren Umsätzen, wobei sie eine umfassendere Definition von MEMS zugrunde legt.
Mikrotechnik wird häufig mit Hilfe der Fotolithografie hergestellt. Lichtwellen werden durch eine Maske auf eine Oberfläche fokussiert. Sie lassen einen chemischen Film erstarren. Die weichen, nicht belichteten Teile des Films werden abgewaschen. Dann ätzt Säure das nicht geschützte Material weg.
Der berühmteste Erfolg der Mikrotechnik ist der integrierte Schaltkreis. Sie wurde auch zum Bau von Mikromaschinen verwendet. Die Nanotechnologie entstand in den 1980er Jahren aus dem Bestreben der Forscher, die Mikrotechnik weiter zu miniaturisieren, insbesondere nach der Erfindung neuer Mikroskopietechniken. Diese haben Materialien und Strukturen mit Abmessungen von 1-100 nm hervorgebracht.