Begrebet MEMS, for Micro Electro Mechanical Systems, blev opfundet i 1980’erne for at beskrive nye, sofistikerede mekaniske systemer på en chip, såsom mikroelektromotorer, resonatorer, tandhjul osv. I dag bruges udtrykket MEMS i praksis til at henvise til enhver mikroskopisk anordning med en mekanisk funktion, som kan fremstilles i en batchproces (f.eks. ville en række mikroskopiske tandhjul fremstillet på en mikrochip blive betragtet som en MEMS-anordning, men en lille laserbearbejdet stent eller en urkomponent ville ikke blive betragtet som en MEMS-anordning). I Europa foretrækker man udtrykket MST for Micro System Technology, og i Japan betegnes MEMS blot som “mikromaskiner”. Forskellene i disse udtryk er relativt små, og de anvendes ofte i flæng.
Men selv om MEMS-processer generelt klassificeres i en række kategorier – f.eks. overfladebearbejdning, bulkbearbejdning, LIGA og EFAB – findes der faktisk tusindvis af forskellige MEMS-processer. Nogle producerer forholdsvis enkle geometrier, mens andre tilbyder mere komplekse 3D-geometrier og større alsidighed. En virksomhed, der fremstiller accelerometre til airbags, ville have brug for et helt andet design og en helt anden proces for at fremstille et accelerometer til inertialnavigation. Hvis man skifter fra et accelerometer til en anden inertialanordning som f.eks. et gyroskop, kræver det en endnu større ændring i design og proces og højst sandsynligt et helt andet produktionsanlæg og ingeniørteam.
MEMS-teknologien har skabt en enorm begejstring på grund af det store antal vigtige anvendelser, hvor MEMS kan tilbyde tidligere uopnåelige standarder for ydeevne og pålidelighed. I en tid, hvor alt skal være mindre, hurtigere og billigere, tilbyder MEMS en overbevisende løsning. MEMS har allerede haft en dybtgående indvirkning på visse anvendelser som f.eks. sensorer i biler og blækprintere. Den nye MEMS-industri er allerede et marked på flere milliarder dollars. Den forventes at vokse hurtigt og at blive en af de vigtigste industrier i det 21. århundrede. Cahners In-Stat Group har forudset, at salget af MEMS vil nå op på 12 mia. dollars i 2005. Den europæiske NEXUS-gruppe forventer en endnu større omsætning ved hjælp af en mere omfattende definition af MEMS.
Mikroteknologi konstrueres ofte ved hjælp af fotolitografi. Lysbølger fokuseres gennem en maske på en overflade. De størkner en kemisk film. De bløde, ueksponerede dele af filmen vaskes væk. Derefter ætser syre det materiale væk, der ikke er beskyttet.
Mikroteknologiens mest berømte succes er det integrerede kredsløb. Den er også blevet brugt til at konstruere mikromaskiner. Som en udløber af forskere, der forsøgte at miniaturisere mikroteknologien yderligere, opstod nanoteknologien i 1980’erne, især efter opfindelsen af nye mikroskopiteknikker. Disse har frembragt materialer og strukturer, der har dimensioner på 1-100 nm.