Termenul MEMS, de la Micro Electro Mechanical Systems, a fost inventat în anii 1980 pentru a descrie sisteme mecanice noi și sofisticate pe un cip, cum ar fi micromotoare electrice, rezonatoare, angrenaje și așa mai departe. Astăzi, în practică, termenul MEMS este utilizat pentru a se referi la orice dispozitiv microscopic cu o funcție mecanică, care poate fi fabricat într-un proces discontinuu (de exemplu, o matrice de angrenaje microscopice fabricate pe un microcip ar fi considerată un dispozitiv MEMS, dar nu și un stent sau o componentă de ceas minusculă prelucrată cu laser). În Europa, se preferă termenul MST pentru tehnologia microsistemelor, iar în Japonia, MEMS sunt denumite pur și simplu „micromașini”. Distincțiile dintre acești termeni sunt relativ minore și sunt adesea utilizate în mod interschimbabil.
Deși procesele MEMS sunt în general clasificate într-o serie de categorii – cum ar fi prelucrarea suprafețelor, prelucrarea în masă, LIGA și EFAB – există într-adevăr mii de procese MEMS diferite. Unele produc geometrii destul de simple, în timp ce altele oferă geometrii 3D mai complexe și mai multă versatilitate. O companie care produce accelerometre pentru airbaguri ar avea nevoie de un design și un proces complet diferite pentru a produce un accelerometru pentru navigația inerțială. Trecerea de la un accelerometru la un alt dispozitiv inerțial, cum ar fi un giroscop, necesită o schimbare și mai mare în ceea ce privește proiectarea și procesul și, cel mai probabil, o instalație de fabricare și o echipă de ingineri complet diferite.
Tehnologia MEMS a generat un entuziasm extraordinar, datorită gamei vaste de aplicații importante în care MEMS poate oferi standarde de performanță și fiabilitate care nu puteau fi atinse anterior. Într-o epocă în care totul trebuie să fie mai mic, mai rapid și mai ieftin, MEMS oferă o soluție convingătoare. MEMS au avut deja un impact profund asupra anumitor aplicații, cum ar fi senzorii pentru automobile și imprimantele cu jet de cerneală. Industria emergentă a MEMS reprezintă deja o piață de mai multe miliarde de dolari. Se așteaptă ca aceasta să crească rapid și să devină una dintre industriile majore ale secolului XXI. Grupul Cahners In-Stat a estimat că vânzările de MEMS vor ajunge la 12 miliarde de dolari până în 2005. Grupul european NEXUS estimează venituri și mai mari, folosind o definiție mai cuprinzătoare a MEMS.
Microtehnologia este adesea construită folosind fotolitografia. Undele de lumină sunt focalizate prin intermediul unei măști pe o suprafață. Acestea solidifică o peliculă chimică. Părțile moi, neexpuse ale peliculei sunt spălate. Apoi, acidul grabează materialul neprotejat.
Cel mai cunoscut succes al microtehnologiei este circuitul integrat. Ea a fost folosită și pentru a construi micromașini. Ca o ramificație a cercetătorilor care au încercat să miniaturizeze și mai mult microtehnologia, nanotehnologia a apărut în anii 1980, în special după inventarea unor noi tehnici de microscopie. Acestea au produs materiale și structuri care au dimensiuni de 1-100 nm.
.