最近の方法では、微粉砕工程で超臨界流体を使用します。 これらの方法は、超臨界流体を用いて過飽和状態を引き起こし、個々の粒子の沈殿をもたらすものである。 このカテゴリーで最も広く適用されている技術には、RESSプロセス（Rapid Expansion of Supercritical Solutions）、SAS法（Supercritical Anti-Solvent） およびPGSS法（Particles from Gas Saturated Solutions）などがあります。 これらの最新技術により、プロセスの調整幅が広がりました。 相対圧力や温度、溶質濃度、溶媒に対する反溶媒の比率などのパラメータを変化させ、生産者のニーズに合わせて出力を調整することができる。 超臨界流体法は、粒子径、粒子径の分布、形態の一貫性をより細かく制御することができる。 超臨界流体法は比較的低圧であるため、熱に弱い材料を使用することができる。

RESSEdit

RESS (Rapid Expansion of Supercritical Solutions) の場合、超臨界流体を用いて固体材料を高圧・高温下で溶解し、均質な超臨界相を形成させる。 その後、ノズルを通して膨張させ、微粒子を形成する。 ノズルから出た直後は、急激な膨張で圧力が下がる。 圧力は超臨界圧より低くなり、超臨界流体（通常は二酸化炭素）は気体状態に戻る。 この相変化により、混合物の溶解度が著しく低下し、粒子の析出が起こります。 溶液が膨張して溶質が析出するまでの時間が短いほど、粒度分布は狭くなります。 3587>

SASEdit

SAS法（Supercritical Anti-Solvent）では、固体材料を有機溶媒に溶かします。 その後、超臨界流体を反溶媒として添加し、系の溶解度を低下させる。 その結果、小粒径の粒子が形成される。 3587>

PGSSEdit

PGSS法（Particles from Gas Saturated Solutions）では、固体材料を溶かし、そこに超臨界流体を溶解させる方法である。 ただし、この場合、溶液はノズルを通して強制的に膨張させられ、このようにしてナノ粒子が形成される。 PGSS法では、超臨界流体を使用するため、固体材料の融点が下がるという利点がある。 そのため、常圧での通常の融点よりも低い温度で固体が溶ける

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