A MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) kifejezést az 1980-as években alkották meg, hogy új, kifinomult mechanikai rendszereket írjanak le egy chipen, például mikro elektromos motorokat, rezonátorokat, fogaskerekeket stb. Ma a MEMS kifejezést a gyakorlatban minden olyan mechanikai funkcióval rendelkező mikroszkopikus eszközre használják, amely sorozatgyártással előállítható (például egy mikrochipre gyártott mikroszkopikus fogaskerekek sorozata MEMS-eszköznek minősül, de egy apró, lézerrel megmunkált sztent vagy óraalkatrész nem). Európában az MST (Micro System Technology) kifejezést részesítik előnyben, Japánban pedig a MEMS-re egyszerűen “mikrogépek”-ként hivatkoznak. E kifejezések közötti különbségek viszonylag csekélyek, és gyakran felcserélhetően használják őket.
Bár a MEMS-eljárásokat általában több kategóriába sorolják – például felületmegmunkálás, tömegmegmunkálás, LIGA és EFAB -, valóban több ezer különböző MEMS-eljárás létezik. Egyesek meglehetősen egyszerű geometriákat állítanak elő, míg mások összetettebb háromdimenziós geometriákat és nagyobb sokoldalúságot kínálnak. Egy légzsákokhoz gyorsulásmérőket gyártó vállalatnak teljesen más tervezésre és eljárásra lenne szüksége egy inerciális navigációhoz használt gyorsulásmérő előállításához. A gyorsulásmérőről egy másik inerciális eszközre, például giroszkópra való áttérés még nagyobb változást igényel a tervezésben és a folyamatban, és valószínűleg teljesen más gyártási létesítményt és mérnöki csapatot igényel.
A MEMS-technológia óriási izgalmat keltett a fontos alkalmazások széles skálája miatt, ahol a MEMS korábban elérhetetlen teljesítmény- és megbízhatósági szabványokat tud nyújtani. Egy olyan korban, amikor mindennek kisebbnek, gyorsabbnak és olcsóbbnak kell lennie, a MEMS meggyőző megoldást kínál. A MEMS már most is nagy hatással van bizonyos alkalmazásokra, például az autóipari érzékelőkre és a tintasugaras nyomtatókra. A feltörekvő MEMS-ipar már most is több milliárd dolláros piac. Várhatóan gyorsan fog növekedni, és a 21. század egyik legfontosabb iparágává válik. A Cahners In-Stat Group előrejelzése szerint a MEMS-ek forgalma 2005-re eléri a 12 milliárd dollárt. Az európai NEXUS csoport még nagyobb bevételeket prognosztizál, a MEMS még átfogóbb definícióját használva.
A mikrotechnológiát gyakran fotolitográfiával építik fel. Fényhullámokat fókuszálnak egy maszkon keresztül egy felületre. Ezek megszilárdítanak egy kémiai filmet. A film lágy, nem exponált részeit lemossák. Ezután sav marja el a nem védett anyagot.
A mikrotechnológia leghíresebb sikere az integrált áramkör. Mikrogépek építésére is alkalmazták már. A mikrotechnológia további miniatürizálására törekvő kutatók mellékágaként a nanotechnológia az 1980-as években jelent meg, különösen az új mikroszkópiai technikák feltalálása után. Ezekkel olyan anyagokat és struktúrákat állítottak elő, amelyek 1-100 nm-es méretekkel rendelkeznek.